产品列表

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半导体制造工序
氮气清洗关联元件

电子样本

从半导体元件制造设备至生产工艺装置,分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上,还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。

液位传感器

数字显示式精致液位开关

型号
KML

NEW

高精度检测纯水、酸、碱、溶剂等多种流体的液位,以电信号的形式输出。

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 氮气清洗关联元件
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先导式3・4・5通电磁阀

先导式3・5通阀

型号
4GA/BR・M4GA/BR・MN4GA/BR

NEW

【NEW】扩大了对应通信。

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3、5通阀。高功能型。
【适用缸径:Φ20~Φ100】

行业
  • 组装
  • 气源供给装置
  • 精制水生产
  • 调整
  • 过滤
  • 制袋(输液袋)
  • 填充
  • 杀菌(高压灭菌器)
  • 包装
  • 压片
  • 培养
  • 分装
  • 灭菌装置
  • 理化分析设备
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 化学液体供给设备用元件
  • 化学气体供给设备用元件
  • 氮气清洗关联元件

流量传感器・控制器

小型流量传感器 RAPIFLOW®

型号
FSM3

NEW

【NEW】追加耐环境规格(IP65)
1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。

行业
  • 保护气体
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 氮气清洗关联元件

流量传感器・控制器

小型流量控制器 RAPIFLOW®

型号
FCM

NEW

是将流量传感器功能、比例控制功能、阀功能单元化,进行必要流量控制的设备。

行业
  • 保护气体
  • 氮气清洗关联元件
  • 理化分析设备

先导式3・4・5通电磁阀

PLC对应型模块集成阀

型号
MN3E・MN4E

采用盒式设计,是进一步实现了小型化(高39.5mm)的高性能3・4通模块集成阀。
【适用缸径:Φ20~Φ40】

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 化学液体供给设备用元件
  • 化学气体供给设备用元件
  • 氮气清洗关联元件

气控式3・4・5通阀

气控阀

型号
4GA/BR・M4GA/BR

优化了环境性能、安全性、可靠性、易用性的3、5通阀的气控阀。
【适用缸径:Φ20~100】

行业
  • 组装
  • 气源供给装置
  • 精制水生产
  • 调整
  • 过滤
  • 制袋(输液袋)
  • 填充
  • 杀菌(高压灭菌器)
  • 包装
  • 压片
  • 培养
  • 分装
  • 灭菌装置
  • 理化分析设备
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 化学液体供给设备用元件
  • 化学气体供给设备用元件
  • 氮气清洗关联元件
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直动式3通电磁阀

模块集成阀

型号
MN3Q

每1连阀上配备2个3通阀,减少了安装空间。进、排气口的取出位置可选择,提高了配管的自由度。
【适用缸径:Φ4~Φ16】

行业
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 化学液体供给设备用元件
  • 化学气体供给设备用元件
  • 氮气清洗关联元件
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工艺气体用元件

工艺气体用阀

型号
LGD

采用金属膜片的工艺气体用阀新品种。
已作为采用锻造阀体的通用型产品发布。
备有气控型、手动型。

行业
  • 化学气体供给设备用元件
  • 化学液体供给设备用元件
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 氮气清洗关联元件
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工艺气体用元件

气控阀

型号
AGD

采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外,还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。

行业
  • 化学气体供给设备用元件
  • 化学液体供给设备用元件
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 氮气清洗关联元件
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高耐久阀

高温・高耐久气控阀

型号
AGD

符合微细化发展的需求,具备高耐久性的工艺气体用阀。
按照客户需求备有3种类型。

行业
  • 化学液体供给设备用元件
  • 化学气体供给设备用元件
  • 半导体制造工序(前工序)
  • 氮气清洗关联元件
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