产品列表

产品列表

13件中
11～13件
半导体制造工序
氮气清洗关联元件

从半导体元件制造设备至生产工艺装置，分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上，还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。

工艺气体用元件

工艺气体用手动阀

型号
OGD

90°旋转快动方式的手动阀。

行业
  • 化学气体供给设备用元件
  • 化学液体供给设备用元件
  • 半导体制造工序（前工序）
  • 氮气清洗关联元件

点击这里查看详情

型号生成系统

添加到收藏夹
资料⁄下载

电子样本

样本PDF

安全注意事项

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

工艺气体用元件

工艺气体用手动阀

型号
MGD

手动式金属隔膜阀。270°旋转方式的手柄开闭型。

行业
  • 化学液体供给设备用元件
  • 化学气体供给设备用元件
  • 半导体制造工序（前工序）
  • 氮气清洗关联元件

点击这里查看详情

型号生成系统

添加到收藏夹
资料⁄下载

电子样本

样本PDF

安全注意事项

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员

流量传感器・控制器

小型流量控制器 RAPIFLOW®

型号
FCM

是将流量传感器功能、比例控制功能、阀功能单元化，进行必要流量控制的设备。

行业
  • 保护气体
  • 氮气清洗关联元件
  • 理化分析设备

点击这里查看详情

型号生成系统

添加到收藏夹
资料⁄下载

样本PDF

安全注意事项

操作说明书

软件

2D CAD

3D CAD

CKD plus 仅限会员