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半导体制造工序
氮气清洗关联元件

电子样本

从半导体元件制造设备至生产工艺装置，分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上，还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。

工艺气体用元件

工艺气体用手动阀

型号
OGD

90°旋转快动方式的手动阀。

行业
  • 化学气体供给设备用元件
  • 化学液体供给设备用元件
  • 半导体制造工序（前工序）
  • 氮气清洗关联元件

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工艺气体用元件

工艺气体用手动阀

型号
MGD

手动式金属隔膜阀。270°旋转方式的手柄开闭型。

行业
  • 化学液体供给设备用元件
  • 化学气体供给设备用元件
  • 半导体制造工序（前工序）
  • 氮气清洗关联元件

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集成化供气系统

洁净面板

型号
FICS

可根据客户的要求和流程进行设计、制造、检查，CKD提供单元保证。

行业
  • 化学气体供给设备用元件
  • 氮气清洗关联元件

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