使用弹簧力夹持外径的机械卡爪。
最适用于无法使用空气配管的旋转滑台及飞梭移载器用卡爪。
不使用密封件，因此也最适用于耐热用卡爪。
适用于打开侧使用外力驱动、凸轮驱动等高速节拍。
【动作行程】5, 9, 11, 1…

行业

• 搬运

使用弹簧力夹持外径的机械卡盘。
最适用于无法使用空气配管的旋转滑台及飞梭移载器用卡爪。
不使用密封件，因此也最适用于耐热用卡爪。
适用于打开侧使用外力驱动、凸轮驱动等高速节拍。
【动作行程】5, 6, 8, 10…

行业

• 搬运

适用于多种工件FA化的卡爪更换器。可自动更换多种卡爪及工具。标配防坠落机构，并备有电极等各种选择项。

行业

• 移载
• 搬运

可从压缩空气中轻松分离提取防氧化、防爆所用的高纯度氮气。可以选择提高设置自由度的“水平设置”。另外，氮浓度也在90%～99.9%的广泛范围内使用。从17流量、25个系列中选择最适合的机型，通过内部氧浓度计、流量计可以随时监控氮气供给状态。

行业

• 保护气体
• 安装
• 包装
• 填充

是将流量传感器功能、比例控制功能、阀功能单元化，进行必要流量控制的设备。

行业

• 保护气体
• 氮气清洗关联元件
• 理化分析设备

直通结构流量传感器。不会发生异物堵塞和检测不良。最适合点焊机、各种机床、高频淬火装置等。

行业

• 冷却水
• 耐环境
• 冷却液控制

【停产产品】
代替产品：FSM3系列
※分离显示器FSM2-D系列还销售中。

双画面双色显示气体用小型流量传感器。
备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。

行业

• 保护气体
• 检查
• 理化分析设备

使用多个吸盘时，即使存在未吸附的吸盘，也可正常保持真空的防坠落阀。
【配管口径】M3, M4, M5, M6, M10, R1/8

行业

• 移载
• 搬运

按压锁定型小型真空减压阀。

行业

• 搬运
• 组装
• 移载
• 检查
• 安装
• 半导体制造工序（后工序）

仅需使用气源，即可产生2t及5t高推力的增力型气缸。最适用于铆接及压入工序。

行业

• 压入・冲压