采用混合式旋转接头，为机器人移载提供创新解决方案。通过内部通路向旋转机器人控制端供气供电，实现配管与配线的“零缠绕”。
【尺寸共4种】可搬送重量(kg)1、5、7、25

行业

• 移载
• 半导体制造工序（后工序）
• 搬运

低滑动自动调芯装置。在机器人与夹爪夹头间安装的轻薄型快速调整器，可防止机械臂偏芯导致的装置停止。
【尺寸共5种】可搬送重量(kg)1、3、7、12、25

行业

• 移载
• 半导体制造工序（后工序）
• 搬运

超小型5通电磁阀。
本公司超小型规格5通电磁阀4S系列，搭载节能型线圈。兼具紧凑设计与节能特性的4SR系列焕新升级。
【功耗：0.4W】
【适用缸径：～Φ25】

行业

• 移载
• 组装
• 检查

【NEW】对应尺寸12(本体宽度：120㎜)
可安装各厂商马达进行控制的电动执行器无马达规格。
内置本体与导轨一体的外轨式导轨。提高耐径向性能，强于偏移的工件，降低了并联导轨的必要性。本体可进行上表面安装，因此安装简便性优异。<…

行业

• 组装
• 检查

【NEW】对应尺寸12(本体宽度：120㎜)
可安装各厂商马达进行控制的电动执行器无马达规格。
内置本体与导轨一体的外轨式导轨。提高耐径向性能，强于偏移的工件，降低了并联导轨的必要性。本体可进行上表面安装，因此安装简便性优异。<…

行业

• 组装
• 检查

小型直动3通阀。
适用于连续通电、自保持、省配线的特殊规格产品。
（3种产品刊载在1个产品页上。）

【适用缸径：Φ6~Φ20】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）
• 氧气浓缩器

【New】直接配管、电压AC100V对应（仅限日本），新增氮气对应

是追求碳中和·高可靠性·易于使用的插装阀。耐久次数1.2亿次。即使长期使用也能实现空气泄漏极少。最大限度地减少设备不运行时的空气泄漏，有助于减少二氧化碳的排放…

行业

• 夹紧
• 搬运
• 夹具关联
• 耐环境
• 组装

底部配管规格的集成电磁阀。适用于安装在食品机械、水处理工厂、半导体制造装置等节省空间的控制柜中。通过与密封垫*1组合，可在要求防滴性的控制柜中实现空气和电气的分离设置。*1 可从本公司购买。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

无代码带来了AI（学习功能）。任何人都可以使用AI如此简单。
学习功能包括分类和分类，这意味着完成学习后，只需一个模块即可与Facilea协作。

行业

• 压入・冲压
• 检查
• 半自动设备
• 组装
• 定位