以小型直动阀3QR系列为基础所开发的特殊规格产品。
①高响应型(2ms)，可在要求高速驱动的装置中通过空气排出工件等追求高节拍的响应性。支持装置的高速化。
②可对应DC5V～32V的自由电源规格。甚至可以通过USB形式的电源进行…

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大流量压缩空气用脉冲吹气阀。通过间歇性吹气，有助于碳中和。

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可根据电流成比例进行流量控制的比例电磁阀。
10mm宽的超小型、静音设计。可有效节省装置的空间。

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• 半导体制造工序（前工序）

一次完成仿形！完成平行调整。可对应空气轴承的平行调整单元。只需按住需平行的多个面，即可实现高精度平行调整的自动化。实现紧凑×高精度×高耐负荷。

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可在任意仿形位置保持吸盘，无需切换吸附卡爪便可对形状和大小不同工件进行搬送。将中空活塞杆和弹簧缓冲器进行组合，打造轻量及紧凑的单元。

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将速度控制阀一体化在电磁阀侧的集成电磁阀。
气缸等执行器无安装空间时，电磁阀侧可进行速度控制。

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1个单元可以安全体验现场的9种潜在危险。可用于新手作业人员的教具。

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适用于高压流体的控制。适用于最高使用压力15MPa的直动式及先导式电磁阀。

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【NEW】对应多种流体的多用途流体阀系列，新增了可对应高温流体(最高对应143°C)的选择项。

多流体对应。
将流体控制阀所需的各种功能，全部融合至一个阀体之中。
通过标配满足各用途所需的功能，进一步提升了可靠性，…

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三爪卡盘内置了LVDT传感器，是带有测长功能的三爪卡盘。
不仅能判定工件的微小尺寸，根据夹持爪和夹具变形等的输出变化也可预知装置的维护时期。

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