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電空レギュレータ
パレクト電空レギュレータ（電磁弁方式中流量）
- 形番
- EV2000
2015/3/31販売終了
高真空用機器
電動真空弁
- 形番
- EVB
2021/3/31販売終了
【販売終了品】
代替商品：IAVBシリーズ
モータ駆動により、弁を開度調整して多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁です。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 半導体製造工程（後工程）
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