省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、Wシール対応。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬ガス供給設備向け機器

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、CSシール対応。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬ガス供給設備向け機器

メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブの基幹商品です。
単体、集積タイプだけではなく、3方弁、2連3方弁など多種多様な
バリエーションに対応をしております。

業種

• 薬ガス供給設備向け機器
• 薬液供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブです。
お客様のニーズに応じ、3種類のタイプを準備しております。

業種

• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• 半導体製造工程（前工程）
• N2パージ関連機器

スルー構造の流量センサです。異物のつまりや検出不良がおきません。スポット溶接機・各種工作機・高周波焼入れ装置などに最適です。

業種

• 冷却水
• 耐環境
• クーラント制御

金属加工ラインのドリル・タップ破損、欠損を回転中でも非接触にて検出するエアセンサです。検出ノズルは刃具に合わせた専用ノズルユニットを用意しています。また、エアセンサの特長の一つである悪環境下での使用にもお応えします。

業種

• 治具関連

接続口径Rc3/8～1に対応し流路部と駆動部を隔離したクリーンタイプのエアオペレイトバルブです。ボディ・ダイアフラム材質の選択で多様な流体に対応します。
FP2：流路部・摺動部の潤滑油は食品用グレード（NSF H1）を、流路部は食品衛…

業種

流路部と摺動部を完全分離したクリーンタイプの小形エアオペレイトバルブです。
マニホールドにも対応し装置・システムの省スペース化も実現します。
FP2：流路部・摺動部の潤滑油は食品用グレード（NSF H1）を、流路部は食品衛生法適…

業種

多種流体に対応する直動式電磁弁です。対応材質、オリフィス径、コイルオプションが豊富で様々な用途に対応しています。
FP2：流路部・摺動部の潤滑油は食品用グレード（NSF H1）を、流路部は食品衛生法適合材料（樹脂・ゴム）を使用。

業種

装置高速化に伴う高耐久性を追求したハンドです。
【動作ストローク】
LHA：4・5・9・11・15・20mm
LHAG：5・9・11・15・20mm

P4：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッ…

業種