倣ならい一発！平行出し。エアベアリングを応用した平行調整ユニット。平行にしたい面同士を押しあてるだけで、高精度平行調整の自動化を可能にします。コンパクト×高精度×高耐荷重を実現しました。

業種

非接触エアベアリング機構を採用した摺動抵抗ゼロの空気静圧式ソフトアクチュエータです。電空レギュレータ（EV）との組合せにより繊細で精密な荷重コントロールを実現します。

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• 半導体製造工程（後工程）
• 実装

非接触エアベアリング機構を採用した摺動抵抗ゼロの空気静圧式ソフトアクチュエータです。電空レギュレータ（EV）との組合せにより繊細で精密な荷重コントロールを実現します。

標準にて、流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解…

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