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流量センサ・コントローラ
二次電池対応機器P4※シリーズ 小形流量センサ ラピフロー®
- 形番
- FSM3
二次電池製造工程用 P4※シリーズ
流量センサ・コントローラ
小形流量センサ ラピフロー®
- 形番
- FSM3
【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。
- 業種
- シールドガス
- 半導体製造工程（後工程）
- N2パージ関連機器
流量センサ・コントローラ
クリーン機器用P5※・P7※シリーズ 小形流量センサ ラピフロー®
- 形番
- FSM3-P70・FSM3-P80
NEW
クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ
【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。
P70：発塵防止
P80：禁油処理
- 業種
- 半導体製造工程（後工程）
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- FSM3
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