薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器

薬液用エアオペレイトバルブのスタンダードタイプ。
成形品の接続オプションが一番豊富なシリーズです。
マニホールドも2種類から選択可能です。
高圧仕様もラインアップしております。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

半導体製造工場における薬液供給設備などでの高圧・高背圧に対応できるよう設計されたバルブです。

業種

• 薬液供給設備向け機器

半導体製造工場における薬液供給設備などでの強酸(塩酸・ふっ酸・硝酸)ラインに対応できるよう設計されたバルブです。

業種

• 薬液供給設備向け機器

PVCボディを使用したFPDや太陽電池製造ラインなどの純水制御に使用できるミドルレンジバルブ。シリーズ全てでウォーターハンマ低減構造を採用しており、大口径配管における弁閉時の衝撃を抑えることが可能です。

業種

コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。
エアオペバルブ一体型で配管工数の削減とコンパクト化を実現。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

コータ・デベロッパ向け、およびベーシックタイプの薬液用エアオペレイトバルブです。
ベーシックな継手ラインナップ。

業種

• 半導体製造工程（前工程）

薬液用エアオペレイトバルブの新型スタンダードタイプ。
幅広く圧力・温度・流体の条件に対応するハイエンド商品です。
今まで細分化して使用していた機種を一つに統一できます。

標準にて、流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケ…

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【販売終了品】
代替商品：AMD※※3R・AMG※※3R・GAMD※※3Rシリーズ

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