1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種

【NEW】耐環境仕様(IP65)追加
1台で、空気、窒素、アルゴン、炭酸ガス、混合ガスと5種類のガスに対応可能な流量センサです。

業種

• シールドガス
• 半導体製造工程（後工程）
• N2パージ関連機器

2018年度グッドデザイン賞を受賞しました。
0.4～250L/minをカバーするカルマン渦式流量センサです。各種出力の切替設定が可能でIO-Link通信にも対応しています。液温測定機能を標準装備し、流体温度95℃まで対応しており、各…

業種

• 理化学分析装置

流量センサ機能・比例制御機能・バルブ機能をユニット化し、必要な流量のコントロールをする機器です。

業種

• シールドガス
• N2パージ関連機器
• 理化学分析装置

スルー構造の流量センサです。異物のつまりや検出不良がおきません。スポット溶接機・各種工作機・高周波焼入れ装置などに最適です。

業種

• 冷却水
• 耐環境
• クーラント制御

冷却水の循環回路の流量センサ、バルブを一体化した集積ユニットです。水まわりの面倒な配管設計や配管作業の工数を大幅に軽減するとともにフットプリントを80%削減してシステムの省スペース化を実現します。

業種

• 理化学分析装置

【販売終了品】
代替商品：FSM3シリーズ
※分離表示器：FSM2-Dシリーズは販売終了対象外です。

2画面2色表示の気体用小形流量センサです。
表示一体型、分離表示型の2種類をラインナップしています。

業種

• シールドガス
• 検査
• 理化学分析装置

圧縮空気、窒素ガス用超小形流量センサです。
軽量・高速応答の為、電子部品等の吸着確認に最適です。

業種

• 半導体製造工程（後工程）

カルマン渦検出方式の水用流量センサです。装置搭載に適したコンパクトなシンプル設計です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）
• 理化学分析装置

表示分離型の圧縮空気用流量センサです。
大流量計測に最適です。

業種

• センサ
• 半導体製造工程（後工程）