シール力が高く、真空保持力が強い高真空対応の直動式電磁弁です。

業種

真空チャンバの大気開放制御用の通電時閉形電磁弁です。OFFディレイ機能により停電時に真空チャンバーをオイルあがりの汚染から守ります。

業種

シール力が高く、真空保持力が強い高真空対応の直動式電磁弁です。

標準で、流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。

業種

【販売終了】

中真空に対応した小形直動式電磁弁です。軽量、コンパクトでシール力が高く、各種真空システム、装置への搭載に最適です。
【受注生産品】

業種

【販売終了】
代替商品：FFB・FFGシリーズ

中真空に対応した小形直動式電磁弁です。軽量、コンパクトでシール力が高く、各種真空システム、装置への搭載に最適です。

業種