小形3ポート弁のあらゆる用途に対応します。（エアオペレイトバルブ/シリンダ駆動、吸着搬送、エアブローなど）
正圧専用の3QE/Zシリーズ、正負圧用の3QBシリーズ、正負圧用大流量の3QRシリーズがあります。
【適応シリンダ径：Φ…

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）
• 酸素濃縮器
• 透析監視装置
• 歯科医療装置

バルブ1連につき3ポート弁を2個搭載し、設置スペースを削減した直動式ブロックマニホールです。給排気ポートの取出し位置が選択できるため、配管取回しの自由度が向上します。
【適応シリンダ径：Φ４~Φ16】

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 薬液供給設備向け機器
• 薬ガス供給設備向け機器
• N2パージ関連機器

3QRシリーズの小形で大流量高応答を活かし、真空破壊バルブを使用しない真空吸着ユニットです。自己復帰形と、自己保持形があります。

業種

• 実装

装置の小形化に対応する幅10mmの超小形直動式ポペット弁です。単体、マニホールドをご用意しております。
【適応シリンダ径：Φ6〜Φ16】

業種

使用圧力0.7MPaから低真空まで使用可能な直動式ユニバーサル加圧式3ポート弁です。低圧・真空用途のシステム構築に貢献します。
【適応シリンダ径：Φ16〜Φ40】

業種

• 酸素濃縮器
• 呼吸器/麻酔器

【販売終了品】

業種