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プロセスガス用レギュレータ

プロセスガス用レギュレータ

形番
PGM

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬液供給設備向け機器
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