従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にしました。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。
高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

ハンドル回転式の高真空用マニュアルバルブです。
アルミボディタイプとSUSボディタイプをご用意しております。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）

CKD独自の成形べローズを採用した特殊構造で長寿命、高耐久性を実現しました。
高い信頼性と使いやすさを備えた高真空バルブです。
X：流路部・摺動部に、銅・亜鉛・ニッケル系材料・電解ニッケルめっきの使用を制限。
【受注生産品…

業種

【販売終了品】
代替商品：高真空用エアオペレイトバルブAVBシリーズ

業種

【販売終了品】
代替商品：AVBシリーズ

ダブルOリングシール方式のエアオペレイトバルブです。ステンレスボディです。

業種

【販売終了品】
代替商品：MVBシリーズ

ハンドル回転式のマニュアルバルブです。ダブルOリングシール方式のステンレスボディです。

業種

【販売終了品】
代替商品：IAVBシリーズ

モータ駆動により、弁を開度調整して多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁です。

業種

• 半導体製造工程（前工程）
• 半導体製造工程（後工程）