商品一覧
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サックバックバルブ
サックバックバルブ
- 形番
- AMS
コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。
- 業種
サックバックバルブ
エアオペレイトバルブ・サックバックバルブ一体形
- 形番
- AMDS
コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。
エアオペバルブ一体型で配管工数の削減とコンパクト化を実現。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
サックバックバルブ
オートサックバックユニット
- 形番
- TQAS0
2006/3/31販売終了
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