【軽量・コンパクト】
シンプルなポペット形構造を採用し、従来のウエア形ダイアフラムバルブから更に軽量・コンパクト化。
装置の省スペース、省エネルギー化に貢献。

【高耐久性】
高いクリーン度と耐久性が求められる半導体業界向けの液体制御技術を応用。
従来のウエア形ダイアフラムバルブからダイアフラムの耐久性を大幅に向上し、長期間安定した動作を実現。

【メンテナンス性】
ダイアフラム交換可能。
簡単に短時間で交換でき、メンテナンス時間を短縮。