クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ気体用小形流量センサラピフロー®

一部バリエーション販売終了

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

【販売終了品】
代替商品：FSM3シリーズ
※分離表示器：FSM2-Dシリーズは販売終了対象外です。

2画面2色表示の気体用小形流量センサです。表示一体型、分離表示型の2種類をラインナップしています。
P70：発塵防止
P80：禁油処理

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CKD plus 会員限定

【大流量でもコンパクト】
流量レンジ：0.5~1000ℓ/min
500、1000ℓ/minタイプでは、従来体積比30%の小形化を実現。

【直間部不要】
整流機構内蔵により上流側・下流側ともに直間部不要のため、自由に設置可能。

【双方向計測】
表示一体型・双方向タイプは流れ方向を任意に設定し計測可能。

【高速応答】
シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、応答速度50m/secを実現。

【クリーン仕様】
P70（発塵防止）、P80（禁油仕様）を標準ラインアップ。
半導体、液晶製造分野向けの用途に最適。

形番	名称	流量レンジ(L/min)	接続口径(Φ, Rc)	備考
FSM2-A	表示分離型(クリーン機器用)	0.5~1000	4~10, 1/8, 1/4, 1/2	2022/1/31 販売終了
FSM2-N	表示一体型（スイッチ出力NPN2点・アナログ出力1点）(クリーン機器用)	0.5~1000	4~10, 1/8, 1/4, 1/2	2022/1/31 販売終了
FSM2-P	表示一体型（スイッチ出力PNP2点・アナログ出力1点）(クリーン機器用)	0.5~1000	4~10, 1/8, 1/4, 1/2	2022/1/31 販売終了
FSM2-D	分離表示器(クリーン機器用)

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クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ気体用小形流量センサ ラピフロー®