クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ薄形電空レギュレータ

クリーン機器用 P5※・P7※シリーズ

省配線、薄形形状のコンパクトな電空レギュレータです。
半導体・精密分野の各種押圧コントロール・微速シリンダ制御に最適です。
P70：排気処理

業種

形番生成・価格

CKD plus 会員限定

【薄型14mm、軽量80g】
集積度が高く、最大24連のマニホールド化が可能。

【省配線対応】
シリアル伝送（DeviceNet、CC-Link）、集中端子台、Dサブコネクタに対応。

【取付2方向】
底面、背面の2方向の取付が可能。

【高精度・高応答】
繰返し精度：0.3%F.S.
応答時間：0.1sec（無負荷時）

形番	名称	圧力制御範囲(MPa)	接続口径(Φ)	備考
EVT-P70	単体(クリーン機器用)	0~0.1	4, 6
MEVT-P70	マニホールド(クリーン機器用)	0~0.5	4, 6

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