商品詳細

エジェクタシステム

真空エジェクタユニット（10.3ｍｍ幅）

形番
VSN・VSNM

高速、かつ安定した応答性を実現した小形エジェクタユニットです。
小形・軽量で、特に高さ寸法をコンパクト化しました。
【ノズル径】0.4, 0.5, 0.6　(㎜)
【吸込み流量】2~9.5　(L/min(ANR))

業種
  • 半導体製造工程（後工程）

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  • 商品特徴
  • バリエーション

【小形・軽量】
取付けスペースに制約のあるお客様に最適。
製品高さをコンパクト化。

【高速かつ安定した応答性】
主弁に直動バルブを採用し、高速かつ安定した応答性を実現。
(ON/OFF=5㎜/sec以下)

【4種類の圧力センサ】
圧力センサは、アナログ出力タイプを4種類用意。

形番 名称 ノズル径 備考
VSN-H単体タイプ・高真空・中流量タイプΦ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSN-E単体タイプ・高真空・少流量タイプΦ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-Hマニホールドタイプ・高真空・中流量タイプΦ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-Eマニホールドタイプ・高真空・少流量タイプΦ0.4, Φ0.5, Φ0.6
VSNM-Zマニホールドタイプ・ミックス仕様-

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