クリーンレギュレータ

禁油仕様・ステンレスボディを採用しており、半導体製造装置や液晶製造装置に使用されるクリーンエア、N２の圧力制御に最適です。また、コンパクト・大流量のため、エア（N2)ブローに適しています。

業種

形番生成・価格

CKD plus 会員限定

【禁油仕様】
精密洗浄（接ガス部）を施し、クリーンルームにて組立から包装まで一貫生産。
接ガス部にはグリースを不使用。

【コンパクト・大流量】
両面50㎜のコンパクトサイズながら、0.8㎥/minの大流量を実現。
(１次圧0.7MPa、設定圧0.5MPa、圧力降下0.1MPa時の流量)

【リバース機能付】
1次側圧力が排気されると、2次側圧力が1次側へリバースする機能付き。
2次側に圧力が残らず、安全性を重視。(背圧が加わらない場合）

形番	名称	接続口径(Rc)	最高使用圧力(Mpa)	設定圧力範囲(MPa)	備考
RC2000-※	クリーンレギュレータ	1/4, 3/8	1.0	標準:0.05~0.7,低圧:0.02~0.2
RC2000-15	クリーンレギュレータ（受注生産品）	1/2	1.0	標準:0.05~0.7,低圧:0.02~0.2

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