商品詳細
直動式3ポート電磁弁
負圧切換ユニット
- 形番
- MV3QR
3QRシリーズの小形で大流量高応答を活かし、真空破壊バルブを使用しない真空吸着ユニットです。自己復帰形と、自己保持形があります。
- 業種
- 実装
【真空破壊バルブ不要】
正圧無しの真空離脱により、課題である極小チップの吹き飛ばし対策不要。
面倒な破壊圧力、流量及びタイミング調整が不要。
真空破壊バルブを無くし、スリム化を実現。
【フットプリント最小化】
従来の破壊付ユニットから、設置面積44%、質量53%削減し、製造装置の小形化に最適。
極小スペースでも設置が可能になり、装置設計の自由度が増大。
軽量化により、装置可動部への設置に有利。
【圧力センサ搭載可能】
真空用圧力センサをユニットに搭載し、コンパクト化。
負圧の検出も省スペースで実現。
圧力センサの締結はクリップ式を採用し、メンテナンス性を向上。
【真空用フィルタ装着可能】
配管途中のフィルタの設置不要。
真空用フィルタはワンタッチで交換可能。
形番 | 名称 | 接続口径 | 備考 |
---|---|---|---|
MV3QRA | ダイレクト配管 | M5, ワンタッチ継手Φ4, Φ6 | |
MV3QRB | サブプレート配管 | M5, ワンタッチ継手Φ4, Φ6 |
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