【真空破壊バルブ不要】
正圧無しの真空離脱により、課題である極小チップの吹き飛ばし対策不要。
面倒な破壊圧力、流量及びタイミング調整が不要。
真空破壊バルブを無くし、スリム化を実現。

【フットプリント最小化】
従来の破壊付ユニットから、設置面積44％、質量53％削減し、製造装置の小形化に最適。
極小スペースでも設置が可能になり、装置設計の自由度が増大。
軽量化により、装置可動部への設置に有利。

【圧力センサ搭載可能】
真空用圧力センサをユニットに搭載し、コンパクト化。
負圧の検出も省スペースで実現。
圧力センサの締結はクリップ式を採用し、メンテナンス性を向上。

【真空用フィルタ装着可能】
配管途中のフィルタの設置不要。
真空用フィルタはワンタッチで交換可能。