【クリーンルーム内での直接排気を実現】
中空糸膜構造の採用により、空圧回路内で使用された排気エアを高い精度で清浄化。(ろ過度0.01μm、除去効率99.99％以上)
クラス10以下のクリーンルーム内においてエア機器の排気口へ取り付けるだけで、直接排気が可能。
従来の外部排気は一切要らず、配管の手間・スペース・コストを大幅に削減可能。

【プラグ形】(FAC10シリーズ)
手で挿入するだけで取付完了。
レギュレータの呼吸穴、シリンダの排気処理、バルブのパイロットエアの排気処理に最適。

【サイレンサ形】(FAC100・FAC200シリーズ）
おねじ式、消音機能付。
バルブのRポートに直接取付可能。

【モジュラー形】(FAC3000シリーズ）
他のモジュラー機器(C形・T形ブラケット、配管アダプタ、ディストリビュータ等)と接続すれば配管不要。
集中排気、大流量排気に最適。