商品詳細

真空用電磁弁

遅延真空電磁弁

形番
HVL

一部バリエーション販売終了

真空チャンバの大気開放制御用の通電時閉形電磁弁です。OFFディレイ機能により停電時に真空チャンバーをオイルあがりの汚染から守ります。

業種

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  • 商品特徴
  • バリエーション

【設定簡単】
最大8秒(AC電圧)、10秒(DC電圧)のOFFディレイ設定が可能。

【高真空対応】
真空漏れ量1.0×10^-9Pa・㎥/s以下。

形番 名称 備考
HVL12遅延真空電磁弁
HVL42遅延真空電磁弁2020/9/30
販売終了
旧取扱説明書

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