【真空保持】
真空漏れ量1.33×10^-6Pa・㎥/s以下、中真空で使用可能。

【軽量・コンパクト】
薄形コイルの採用で軽量コンパクト。

【バリエーション】
4つのコイルサイズ、複数のオリフィス径から最適な選定が可能。