エアオペレイトバルブ・サックバルブ一体形

コンパクト構造で確実な液切れ、サックバックを高精度制御可能です。ウェーハへの薬液吐出不良などの防止にご使用できます。
流体粘度に応じた最適化特注設計対応可能です。
エアオペバルブ一体型で配管工数の削減とコンパクト化を実現。

業種

CKD plus 会員限定

【流体のボタ落ち防止】
微速タイプのスピードコントローラとの組合せで最適な液切れに調整可能。
エアオペレイトバルブ・サックバック一体形。

形番	名称	最大サックバック量	接続サイズ(チューブ外形・ネジ径)	接続方式	備考
AMDSZ0	小口径	0.04 cm3	1/8”, 3 mm	スーパータイプ, スーパー300,F-LOCK20/60
AMDS00	中口径	0.12 cm3	1/8”, 1/4”, 6 mm, 6.35mm	スーパータイプ, スーパー300,F-LOCK20/60, ファイナルロック, フレアテック

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