商品詳細
集積化ガス供給システム
集積化ガス供給システム
- 形番
- IAGD5
省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.125inch、Wシール対応。
- 業種
- 半導体製造工程（前工程）
- 薬ガス供給設備向け機器
| 形番 | 名称 | 内容 | サイズ | 接続方式 | 備考 |
|---|---|---|---|---|---|
| IAGD5 | 集積化ガス供給システム | - | - | Wシール | |
| MAGD5-R | 集積化ガス供給システム用機器 | エアオペレイトバルブ | 1.125inch | - | |
| MMGD5-R | 集積化ガス供給システム用機器 | マニュアルバルブ | 1.125inch | - | |
| MFGD5 | 集積化ガス供給システム用機器 | 流量調整バルブ | 1.125inch | - | |
| MCPG5 | 集積化ガス供給システム用機器 | チェックバルブ | 1.125inch | - |
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