商品詳細

集積化ガス供給システム

集積化ガス供給システム

形番
IAGD4

省スペース、メンテナンス性を向上させたプロセスガス供給システムです。
お客様のご要望フローに応じ、設計から製作まで行います。
1.5inch、Wシール対応。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 薬ガス供給設備向け機器

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  • 商品特徴
  • バリエーション

【集積ユニット】
プロセスガス供給ラインを標準化されたパーツでコンパクトに集積化。
プロセスガスと不活性ガスの高速置換を可能とする理想的な流路を実現。
設計から組立、検査後に納品し、お客様の工数を削減。

形番 名称 内容サイズ接続方式 備考
IAGD4集積化ガス供給システム--Wシール
MAGD4-R集積化ガス供給システム用機器エアオペレイトバルブ1.5inch-
MOGD4集積化ガス供給システム用機器マニュアルバルブ1.5inch-
MFGD4集積化ガス供給システム用機器流量調整バルブ1.5inch-
MCGP4集積化ガス供給システム用機器チェックバルブ1.5inch-

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