商品詳細

高真空用機器

真空圧力制御システム

形番
IAVB

従来の高真空バルブの信頼性はそのままに、多彩なプロセスを実現する圧力制御を可能にしました。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 半導体製造工程(後工程)

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CKD plus 会員限定

  • 商品特徴
  • バリエーション

【スロー排気制御が可能】
一般的なON/OFF真空弁や二段排気真空弁に比べて、一定レートで緩やかな排気を実現。

【圧力制御機能の追加】
信頼性の高い真空バルブをベースに、圧力制御機能を付加。
真空時の圧力調整に、レギュレータやバリアブルリークは不要。
ポペット弁方式の採用により、バタフライバルブが苦手とする全閉動作を、Oリングシール構造で実現。

【簡単メンテナンス】
バルブと電装部を個別でメンテナンス可能。

形番 名称 接続方式 備考
IAVB※17真空圧力制御システムNW16、25、40、50
IAVB-CONTIAVB用コントローラ-

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