【スロー排気制御が可能】
一般的なON/OFF真空弁や二段排気真空弁に比べて、一定レートで緩やかな排気を実現。

【圧力制御機能の追加】
信頼性の高い真空バルブをベースに、圧力制御機能を付加。
真空時の圧力調整に、レギュレータやバリアブルリークは不要。
ポペット弁方式の採用により、バタフライバルブが苦手とする全閉動作を、Oリングシール構造で実現。

【簡単メンテナンス】
バルブと電装部を個別でメンテナンス可能。