商品詳細

高真空用機器

電動真空弁

形番
EVB

2021/3/31販売終了

【販売終了】
代替商品:IAVBシリーズ

モータ駆動により、弁を開度調整して多彩なコンダクタンスを実現した電動真空弁です。

業種
  • 半導体製造工程(前工程)
  • 半導体製造工程(後工程)

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  • 商品特徴
  • バリエーション

【モータ駆動で開度設定30点】
外部信号によるモータ駆動で開度調整。
最小ピッチ0.15mm(NW25の場合)。
簡易的なコンダクタンス可変のシステムや真空制御の自動化に最適。

【開度監視機能、各種信号出力機能】
内蔵エンコーダで現在開度を監視。
弁開・弁閉状態の動作完了信号、アラーム出力機能付で安心。

形番 名称 接続方式 備考
EVB※17電動真空弁NW25, 40, 502021/3/31
販売終了
旧カタログ

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