商品詳細

プロセスガス用機器

エアオペレイトバルブ

形番
AGD

メタルダイアフラムを採用したプロセスガス用バルブの基幹商品です。
単体、集積タイプだけではなく、3方弁、2連3方弁など多種多様な
バリエーションに対応をしております。

業種
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • 薬液供給設備向け機器
  • 半導体製造工程（前工程）
  • N2パージ関連機器

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  • 商品特徴
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【スタンダードタイプ】
耐久性：100万回（実績値400万回）
集積化ガス供給システムに対応（1.5inch、1.125inch）

【内部シールの性能アップ】
最適なシール構造と面粗度の向上によるパーティクルの発生を削減。

形番 名称 接続方式作動方式 備考
AGD0※R-4RMプロセスガス用エアオペレイトバルブ1/4”JXRオス継手NC形、NO形
AGD0※R-4Rプロセスガス用エアオペレイトバルブ1/4”JXRメス継手NC形、NO形
AGD1※R-4RMプロセスガス用エアオペレイトバルブ1/4”JXRオス継手NC形、NO形
AGD1※R-4Rプロセスガス用エアオペレイトバルブ1/4”JXRメス継手NC形、NO形
AGD1※R-4Sプロセスガス用エアオペレイトバルブ1/4”二重くい込み継手NC形、NO形
AGD2※R-6RMプロセスガス用エアオペレイトバルブ3/8”JXRオス継手NC形、NO形
AGD2※R-6Rプロセスガス用エアオペレイトバルブ3/8”JXRメス継手NC形、NO形
AGD2※R-6Sプロセスガス用エアオペレイトバルブ3/8”二重くい込み継手NC形、NO形

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