商品詳細

プロセスガス用機器

高温・高耐久ガスバルブ

形番
AGD

微細化の進展により求められる高耐久に対応するプロセスガス用バルブです。
お客様のニーズに応じ、3種類のタイプを準備しております。

業種
  • 薬液供給設備向け機器
  • 薬ガス供給設備向け機器
  • 半導体製造工程(前工程)
  • N2パージ関連機器

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2D CAD

CKD plus 会員限定

  • 商品特徴
  • バリエーション

【高耐久、高応答、安定性能を実現】
業界No.1の最高1億回動作耐久性。
Cv値・応答性の長期安定性確保。

【AGD-HDシリーズ】
耐久性:1000万回保証(実績値:3000万回)
集積化ガス供給システムに対応(1.5inch、1.125inch)
単品バルブ対応可能

【AGD-HDFシリーズ】
耐久性:1000万回保証(実績値:3000万回)
高温対応:~200℃
集積化ガス供給システムに対応(1.5inch、1.125inch)
単品バルブ対応可能
応答安定アクチュエータ搭載

【AGD21R-Aシリーズ】
耐久性:3000万回保証(実績値:1億回)
流体温度:150~200℃対応
集積化ガス供給システムに対応(1.5inch)
応答安定アクチュエータ搭載
高Cv値:0.4以上

形番 名称 流体温度実績値 備考
AGD※※R-HD高耐久ガスバルブ5~80℃3000万回以上
AGD※※R-HDF高温・高耐久バルブ20~200℃3000万回以上
AGD21R-A高温・高耐久バルブ150~200℃1億回以上

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