商品詳細

わかば商品

小形電磁比例弁 【特別仕様品】

形番
3QB

電流に比例して流量制御できる比例電磁弁です。
10mm幅の超小型、静音設計。装置の省スペース化に貢献します。

業種
  • 半導体製造工程（前工程）

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CKD plus 会員限定

  • 商品特徴
  • バリエーション

【超小型】
コイル幅10mm。制御対象近くにも設置可能。

【流量調整範囲：0～9L/min】
微少流量の比例制御が可能。

※ヒステリシス
DC12V：10%
24V：20%

【半導体前工程】
機器の省スペース性が求めらる半導体レジスト塗布工程などで使用可能です。

形番 名称 接続口径 備考
3QB11OP単体バルブ【特別仕様品】M5、Φ4バーブ継手
M3QB11OP個別配線マニホールド【特別仕様品】M5、Φ4バーブ継手

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