商品詳細

プロセスガス用レギュレータ

プロセスガス用レギュレータ

形番
PGM

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

業種
  • 半導体製造工程（前工程）
  • 薬液供給設備向け機器

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  • 商品特徴
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形番 名称 流量2次側設定圧力 備考
PGM-30Vプロセスガス用レギュレータ20ℓ/min-0.07~0.21Mpa
PGM-30プロセスガス用レギュレータ20ℓ/min0~0.21Mpa
PGM-50プロセスガス用レギュレータ20ℓ/min0~0.35Mpa
PGM-100プロセスガス用レギュレータ20ℓ/min0~0.7Mpa
PGM-H-60プロセスガス用レギュレータ50ℓ/min0~0.42Mpa
PGM-H-100プロセスガス用レギュレータ50ℓ/min0~0.7Mpa
PGM-2H-30Vプロセスガス用レギュレータ200L/min-0.07～0.21Mpa
PGM-2H-30プロセスガス用レギュレータ200L/min0～0.21Mpa
PGM-2H-60プロセスガス用レギュレータ200L/min0～0.42Mpa
PGM-2H-100プロセスガス用レギュレータ200L/min0～0.7Mpa

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