プロセスガス用レギュレータ　PGM｜機器商品

商品詳細

プロセスガス用レギュレータ

業界最高クラスのシール性能・ヒステリシス・繰り返し再現性を誇るCKDのプロセスガスレギュレータ。
供給ガスの高精度な圧力/流量調整で安定プロセスを実現します。

業種

CKD plus 会員限定

【高シール性】
プロセス安定化に貢献
● 弁座部の最適設計と超精密加工
● 弁閉動作時の2次側への漏れ（出流れ）を極限まで抑制

【高い微小流量制御性】
安定かつスムーズな動作を実現
● 弁座部形状の最適設計
● 微小流量でも安定制御

【ヒステリシス低減】
狙いの圧力に確実にミート
● 高品質材料の採用
● 超精密加工

形番	名称	流量	2次側設定圧力
PGM-30V	プロセスガス用レギュレータ	20ℓ/min	-0.07~0.21Mpa
PGM-30	プロセスガス用レギュレータ	20ℓ/min	0~0.21Mpa
PGM-50	プロセスガス用レギュレータ	20ℓ/min	0~0.35Mpa
PGM-100	プロセスガス用レギュレータ	20ℓ/min	0~0.7Mpa
PGM-H-60	プロセスガス用レギュレータ	50ℓ/min	0~0.42Mpa
PGM-H-100	プロセスガス用レギュレータ	50ℓ/min	0~0.7Mpa
PGM-2H-30V	プロセスガス用レギュレータ	200L/min	-0.07～0.21Mpa
PGM-2H-30	プロセスガス用レギュレータ	200L/min	0～0.21Mpa
PGM-2H-60	プロセスガス用レギュレータ	200L/min	0～0.42Mpa
PGM-2H-100	プロセスガス用レギュレータ	200L/min	0～0.7Mpa