【超小形・軽量】（FSM-Xシリーズ）
センサヘッドを分離することにより超小形化を実現。
従来体積比52%減、軽量4G最薄8mmを実現。
センサヘッド単品、流路ブロック付の2種類ラインアップ。

【ノンリニア特性】（FSM-Xシリーズ）
アナログ出力をノンリニア特性としている為、低流量域の分解能向上。

【高速応答】（FSM-V・FSM-Xシリーズ）
5msの高速応答があきらめていた設計を実現

【双方計測】（FSM-V・FSM-Xシリーズ）
双方向計測が可能なため、吸着確認用途に最適です。