商品詳細

流量センサ・コントローラ

気体用超小形流量センサ ラピフロー®

形番
FSM

一部バリエーション販売終了

圧縮空気、窒素ガス用超小形流量センサです。
軽量・高速応答の為、電子部品等の吸着確認に最適です。

業種
  • 半導体製造工程(後工程)
  • 商品特徴
  • バリエーション

【超小形・軽量】(FSM-Xシリーズ)
センサヘッドを分離することにより超小形化を実現。
従来体積比52%減、軽量4G最薄8mmを実現。
センサヘッド単品、流路ブロック付の2種類ラインアップ。

【ノンリニア特性】(FSM-Xシリーズ)
アナログ出力をノンリニア特性としている為、低流量域の分解能向上。

【高速応答】(FSM-V・FSM-Xシリーズ)
5msの高速応答があきらめていた設計を実現

【双方計測】(FSM-V・FSM-Xシリーズ)
双方向計測が可能なため、吸着確認用途に最適です。

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