【RS-485通信追加】
産業用ネットワーク通信として信頼性の高いRS-485に対応。

【IO-Link対応】
IO-Link通信によってデータ収集に加えて上位からの遠隔操作が可能。　

【システム異常検知（予知保全）】
センサ・電磁比例弁の劣化を検知する自己検知に加え、周辺システムも含めた異常を検知します。IO-Linkで警告信号の出力が可能。

【適応流体・流量範囲】
空気、窒素：0.015~50ℓ/min
アルゴン：0.015~50ℓ/min
酸素、都市ガス、メタン、プロパン：0.015~10ℓ/min
水素、ヘリウム：0.06~20ℓ/min

【制御状態が一目でわかるデジタル表示器搭載】
流量値を3桁でデジタル表示。
エラー表示の他、出力状態（スイッチ出力ON-OFF）を表示。

【0.5秒の高速制御】
シリコンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、0.5secの高速制御が可能。

【高信頼の流量制御】
再現性：±１%F.S.
精度：±3%F.S.