【1台で2種類の汚染物質除去】
活性炭エレメントを採用し、シロキサンとオゾンを1台で除去。

【高圧・大流量対応可能】
圧縮空気・窒素ガスを加圧状態のまま、大流量で使用可能。

【高い除去率】
99％以上のシロキサン吸着性能・オゾン分解性能。

【省スペース】
当社調質機器とモジュール接続が可能で省配管を実現。