商品詳細

流量センサ・コントローラ

圧縮空気用流量センサ(表示分離形 FLUEREX)

形番
PFD

表示分離型の圧縮空気用流量センサです。
大流量計測に最適です。

業種
  • センサ
  • 半導体製造工程(後工程)

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  • 商品特徴
  • バリエーション

【豊富な流量レンジ】
25~500ℓ/min
50~1000ℓ/min
100~2000ℓ/min
200~4000ℓ/min
400~8000ℓ/min
800~16000ℓ/min
0.8~16m3/min

【積算流量計測機能】
積算表示、積算パルス出力が可能な為、装置の消費流量が計測に最適。

形番 名称 流量レンジ(L/min)接続口径(Rc) 備考
PFD-501圧縮空気用流量センサ(表示分離形)25~5003/8
PFD-102圧縮空気用流量センサ(表示分離形)50~10001/2
PFD-202圧縮空気用流量センサ(表示分離形)100~20003/4
PFD-402圧縮空気用流量センサ(表示分離形)200~40001
PFD-802圧縮空気用流量センサ(表示分離形)400~80001 1/2
PFD-163圧縮空気用流量センサ(表示分離形)800~160002

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