【停产产品】
代替产品：MVB系列

手柄旋转式手动阀。双O形圈密封方式的不锈钢阀体。

行业

【停产产品】
代替产品：IAVB系列

通过马达驱动调整阀的开度，实现了多种导率的电动真空阀。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）

【停产产品】
代替产品：PFD系列

可有效把握能耗现状及确认效果的中、大流量压缩空气用流量传感器。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）

【停产产品】
是卡曼涡街检测方式的水用流量传感器。
代替产品：卡曼涡街式水用流量传感器FLUEREX WFK5000・WFK6000・WFK7000系列

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）
• 理化分析设备

【停产产品】
代替产品：无
将空气流量的测量仪器实现组件化。在现场即可进行流量测量。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）

【停产产品】

对工件吹送检测空气，将发生的背压通过空-电转换部转换为电气信号。小型、高灵敏度，可用于各种用途。

行业

【停产产品】
最适合气动系统的预防性保养的差压开关。

行业

【停产产品】

使用半导体传感器的空气压、真空用压力开关。采用多旋转型微调电容器及内置动作指示灯，设定简单。

行业

【停产产品】
代替产品：ZRS系列

采用滚柱凸轮的分度单元。
因高速、高刚性、高精度而最通用的类型。
※选择项减速机TE系列已经停产了。

行业

• 组装

【停产产品】
代替产品
RGIS025・RGOS025：AX6001MU系列
RGIS032・RGOS032：AX2006T系列

采用滚柱凸轮的分度单元。
所有系列中的最小型。
铝合金外壳和润滑脂…

行业

• 组装