结构特殊，采用CKD独有的成型波纹管，实现了长寿命、高耐久性。
可靠性高且方便易用的高真空阀。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）

手柄旋转式高真空用手动阀。
备有铝阀体型和SUS阀体型。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.125inch、采用W密封。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.5inch、采用W密封。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.5inch，采用CS密封。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

【停产产品】
代替产品：IAVB系列

通过马达驱动调整阀的开度，实现了多种导率的电动真空阀。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）