产品列表
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- 半导体制造工序
- 半导体制造工序（前工序）
从半导体元件制造设备至生产工艺装置，分别按“前工序”、“后工序”、“化学液体供给设备用元件”、“化学气体供给设备用元件”、“氮气清洗关联元件”提出支持高纯度、高精度的产品提案。备有许多可对化学液体、气体、真空进行控制的阀门和减压阀、控制系统等。在依照ISO9001进行彻底的品质管理的基础上，还对应从阀门单品到组合了阀门和减压阀等的面板。
高真空用元件
高真空用手动阀
- 型号
- MVB
部分衍生系列销售中止
工艺气体用元件
工艺气体用阀
- 型号
- LGD
采用金属膜片的工艺气体用阀新品种。
已作为采用锻造阀体的通用型产品发布。
备有气控型、手动型。
- 行业
- 化学气体供给设备用元件
- 化学液体供给设备用元件
- 半导体制造工序（前工序）
- 氮气清洗关联元件
工艺气体用元件
气控阀
- 型号
- AGD
采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。
- 行业
- 化学气体供给设备用元件
- 化学液体供给设备用元件
- 半导体制造工序（前工序）
- 氮气清洗关联元件
高耐久阀
高温・高耐久气控阀
- 型号
- AGD
符合微细化发展的需求，具备高耐久性的工艺气体用阀。
按照客户需求备有3种类型。
- 行业
- 化学液体供给设备用元件
- 化学气体供给设备用元件
- 半导体制造工序（前工序）
- 氮气清洗关联元件
工艺气体用元件
工艺气体用手动阀
- 型号
- OGD
工艺气体用元件
工艺气体用手动阀
- 型号
- MGD
工艺气体用减压阀
工艺气体用减压阀
- 型号
- PGM
CKD的工艺气体减压阀拥有行业领先的密封性能、滞后性和重复性。
通过供气的高精度压力/流量调整，实现稳定的工艺控制。
- 行业
- 半导体制造工序（前工序）
- 化学液体供给设备用元件
孵化产品【特殊规格产品】
小型电磁比例阀 【特殊规格产品】
- 型号
- 3QB
- 资料⁄下载
样本PDF
CKD plus 仅限会员
高真空用元件
电动真空阀
- 型号
- EVB
2021年03月31日销售中止
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- 所有
- 特定用途
- 所有
- 行业
- 半导体制造工序
- 半导体制造工序（前工序）
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