可通过先导空气控制，使化学液体、纯水供给部位的压力变化趋于稳定的减压阀。与电空减压阀组合，可通过远程操作变更设定压力。

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• 半导体制造工序（前工序）

以紧凑的结构确保滴液，可高精度控制回吸。可防止化学液体在晶圆上喷吐不良等现象。
可根据流体粘度优化定制设计。
气控阀一体型产品，可削减配管工时并实现紧凑化。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

基础型化学液体用气控阀。
备有各种基础型接头。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

化学液体用气控阀的标准型。
成形品连接选择项最丰富的系列。
集成阀也备有两种可选。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

化学液体用气控阀的新标准型。
适用于各种压力、温度、流体条件的高端产品。
可将过去细分用途的机型统一。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.125inch、采用W密封。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.5inch、采用W密封。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

省空间且提高了维护性的工艺气体供给系统。
从设计到制作均可根据客户需要的流程进行。
1.5inch，采用CS密封。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

既保持了高真空阀原本的可靠性，还能进行可实现多种工艺的压力控制。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）

结构特殊，采用CKD独有的成型波纹管，实现了长寿命、高耐久性。
可靠性高且方便易用的高真空阀。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）