基础型化学液体用气控阀。
备有各种基础型接头。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

用于纯水等的压力控制的手动式减压阀。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

电动式流量调节阀(针阀)。
可通过远程操作变更设定流量

行业

• 半导体制造工序（前工序）

手动式流量调节阀(针阀)。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

采用金属膜片的工艺气体用阀新品种。
已作为采用锻造阀体的通用型产品发布。
备有气控型、手动型。

行业

• 化学气体供给设备用元件
• 化学液体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

采用金属膜片的工艺气体用阀的核心产品。
除单体、集成型外，还备有3通阀、2连3通阀等种类丰富的产品。

行业

• 化学气体供给设备用元件
• 化学液体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

符合微细化发展的需求，具备高耐久性的工艺气体用阀。
按照客户需求备有3种类型。

行业

• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

90°旋转快动方式的手动阀。

行业

• 化学气体供给设备用元件
• 化学液体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

手动式金属隔膜阀。270°旋转方式的手柄开闭型。

行业

• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

既保持了高真空阀原本的可靠性，还能进行可实现多种工艺的压力控制。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）