小型直动3通阀。
适用于连续通电、自保持、省配线的特殊规格产品。
（3种产品刊载在1个产品页上。）

【适用缸径：Φ6~Φ20】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）
• 氧气浓缩器

底部配管规格的集成电磁阀。适用于安装在食品机械、水处理工厂、半导体制造装置等节省空间的控制柜中。通过与密封垫*1组合，可在要求防滴性的控制柜中实现空气和电气的分离设置。*1 可从本公司购买。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学气体供给设备用元件

可根据电流成比例进行流量控制的比例电磁阀。
10mm宽的超小型、静音设计。可有效节省装置的空间。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

高精度检测纯水、酸、碱、溶剂等多种流体的液位，以电信号的形式输出。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 氮气清洗关联元件

CKD的工艺气体减压阀拥有行业领先的密封性能、滞后性和重复性。
通过供气的高精度压力/流量调整，实现稳定的工艺控制。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件

采用盒式设计，是进一步实现了小型化（高39.5mm）的高性能3・4通模块集成阀。
【适用缸径：Φ20～Φ40】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 氮气清洗关联元件

可通过先导空气控制，使化学液体、纯水供给部位的压力变化趋于稳定的减压阀。与电空减压阀组合，可通过远程操作变更设定压力。

行业

• 半导体制造工序（前工序）

可应对小型3通阀的各种用途。（气控阀・气缸驱动、吸附搬送、
吹气等）　
有正压专用3QE・3QZ系列、正负压用3QB系列、正负压用大流量3QR系列。
【适用缸径：Φ6～Φ20】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 半导体制造工序（后工序）
• 氧气浓缩器
• 透析监视装置
• 牙科医疗设备

每1连阀上配备2个3通阀，减少了安装空间。进、排气口的取出位置可选择，提高了配管的自由度。
【适用缸径：Φ4～Φ16】

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件
• 化学气体供给设备用元件
• 氮气清洗关联元件

化学液体用气控阀的新标准型。
适用于各种压力、温度、流体条件的高端产品。
可将过去细分用途的机型统一。

行业

• 半导体制造工序（前工序）
• 化学液体供给设备用元件