辅助把持或者操作工具用紧凑型气压平衡吊。
通过低阻力气缸和高刚性导轨结构来减轻操作者的负担，使用更方便，工作更轻松！

行业

• 组装
• 安装

专用于硅氧的吸附及臭氧分解的可移动设备。
可在加压状态下使用压缩空气、氮气并且达到99%高去除率。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

【NEW】追加对应马达

将精密缓冲器和马达一体化，进行旋转定位和缓冲动作。

行业

• 组装
• 移载
• 检查
• 安装

按压锁定型小型真空减压阀。

行业

• 搬运
• 组装
• 移载
• 检查
• 安装
• 半导体制造工序（后工序）

薄型长行程卡爪内置了LVDT传感器，是带有测长功能的平行卡爪。不仅能判定工件的微小尺寸，根据夹持爪和夹具变形等的输出变化也可预知装置的维护时期。

行业

• 组装
• 移载
• 检查
• 安装

薄型长行程卡爪内置了LVDT传感器，是带有测长功能的平行卡爪。不仅能判定工件的微小尺寸，根据夹持爪和夹具变形等的输出变化也可预知装置的维护时期。

行业

• 组装
• 移载
• 检查
• 安装

可从压缩空气中轻松分离提取防氧化、防爆所用的高纯度氮气。可以选择提高设置自由度的“水平设置”。另外，氮浓度也在90%～99.9%的广泛范围内使用。从17流量、25个系列中选择最适合的机型，通过内部氧浓度计、流量计可以随时监控氮气供给状态。

行业

• 保护气体
• 安装
• 包装
• 填充

线性导轨卡爪内置了LVDT传感器，是带有测长功能的平行卡爪。
不仅能判定工件的微小尺寸，根据夹持爪和夹具变形等的输出变化也可预知装置的维护时期。

行业

• 组装
• 移载
• 安装

机械臂在水平方向移动的机器人。适用于自动装配工作，如零件插入和螺钉拧紧。用于装配工作，轻量产品的码垛等各种场合。

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行业

• 组装
• 移载
• 检查
• 安装
• 生化分析设备

机械臂在水平方向移动的机器人。适用于自动装配工作，如零件插入和螺钉拧紧。用于装配工作，轻量产品的码垛等各种场合。是高速，高精度规格产品。

从资料/下载“2DCAD”下载3DCAD数据。

行业

• 组装
• 移载
• 检查
• 安装
• 生化分析设备