采用非接触空气轴承机构的滑动零阻力的空气静压式柔性执行部。通过与电空减压阀（EV)的组合，实现细致精密的负荷控制。

行业

• 半导体制造工序（后工序）
• 安装

最适合在水滴及粉尘较多的环境下进行旋转定位的执行器。
保护等级实现了相当于IP65。
对应新型控制器，启动时间减少了60%。

行业

• 组装
• 检查
• 安装
• 牙科医疗设备
• 半导体制造工序（后工序）

薄型、轻量化电动执行器。
有助于促进装置的小型化、轻量化。
本体颜色为黑色，减少图像检查时的光反射。

行业

• 检查
• 移载
• 安装
• 搬运
• 半导体制造工序（后工序）

薄型长行程卡爪内置了LVDT传感器，是带有测长功能的平行卡爪。不仅能判定工件的微小尺寸，根据夹持爪和夹具变形等的输出变化也可预知装置的维护时期。

行业

• 组装
• 移载
• 检查
• 安装

【停产产品】
代替产品：PAW系列

以“一切为了作业人员”为理念，有助于减轻作业负担和确保安全的“人类助手型产品”。可从下方进入的新式助力装置，采用多轴规格，可实现紧凑的折叠收纳。可根据用途及场所，选择最多3轴的自由组合…

行业

• 夹紧
• 定位
• 搬运
• 半自动设备
• 安全
• 组装
• 移载
• 检查
• 安装
• 气源供给装置
• 特殊用途、搬送