产品列表

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流量传感器・控制器

二次电池制造工序用P4※系列 气体用小型流量传感器 RAPIFLOW®

型号
FSM2

部分衍生系列销售中止

二次电池制造工序用P4※系列

【停产产品】
代替产品:FSM3系列
※分离显示器FSM2-D系列还销售中。

双画面双色显示气体用小型流量传感器。备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。

标准:已在流路部和滑动部的构成部件中限制使用…

行业
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流量传感器・控制器

洁净室用P5※・P7※系列 小型流量传感器 RAPIFLOW®

型号
FSM3-P70・FSM3-P80

NEW

洁净元件用 P5※ / P7※系列

【NEW】追加耐环境规格(IP65)
1个FSM3能够对应空气,氮气,氩气,二氧化碳和混合气的5种气体。

P70 : 防止发尘
P80 : 禁油处理

行业
  • 半导体制造工序(后工序)

流量传感器・控制器

洁净室用P5※ / P7※系列 气体用小型流量传感器 RAPIFLOW®

型号
FSM2

部分衍生系列销售中止

洁净元件用 P5※ / P7※系列

【停产产品】
代替产品:FSM3系列
※分离显示器FSM2-D系列还销售中。

双画面双色显示气体用小型流量传感器。备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。
P70:发尘对策
P80:禁油处理

行业
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流量传感器・控制器

洁净室用P5※ / P7※系列 小型流量传感器RAPIFLOW专用超小型直管型过滤器

型号
FSM-VFM

洁净元件用 P5※ / P7※系列

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。
内容积较小,因此不妨碍吸附确认时的高速响应。
P70:发尘对策

行业
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流量传感器・控制器

流量传感器显示器

型号
WM

2010年11月30日销售中止

【停产产品】
代替产品:WFK系列

行业

流量传感器・控制器

水用流量传感器

型号
WF※000

2011年02月28日销售中止

【停产产品】
代替产品:WFK系列

行业

流量传感器・控制器

压缩空气用流量传感器(显示一体型 FLUEREX)

型号
PF・PFU

2019年03月31日销售中止

【停产产品】
代替产品:PFD系列

可有效把握能耗现状及确认效果的中、大流量压缩空气用流量传感器。

行业
  • 传感器
  • 半导体制造工序(后工序)
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流量传感器・控制器

卡曼涡街式水用流量传感器FLUEREX

型号
WFK5000・WFK6000・WFK7000

2019年12月27日销售中止

【停产产品】
是卡曼涡街检测方式的水用流量传感器。
代替产品:卡曼涡街式水用流量传感器FLUEREX WFK5000・WFK6000・WFK7000系列

行业
  • 传感器
  • 半导体制造工序(后工序)
  • 理化分析设备
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操作说明书

2D CAD

3D CAD

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流量传感器・控制器

气体用流量传感器万用表组件

型号
PFK

2022年03月31日销售中止

【停产产品】
代替产品:无
将空气流量的测量仪器实现组件化。在现场即可进行流量测量。

行业
  • 传感器
  • 半导体制造工序(后工序)
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