1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。

行业

【NEW】追加耐环境规格(IP65)
1个FSM3能够对应空气，氮气，氩气，二氧化碳和混合气的5种气体。

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• 保护气体
• 半导体制造工序（后工序）
• 氮气清洗关联元件

荣获2018年度优秀设计奖。
是涵盖0.4～250L/min的卡曼涡街式流量传感器。可进行各种输出的切换设定，支持IO-Link通信。标配液温侧功能，最高可应对95℃的流体温度，最适合各种冷却水的监视。

行业

• 理化分析设备

是将流量传感器功能、比例控制功能、阀功能单元化，进行必要流量控制的设备。

行业

• 保护气体
• 氮气清洗关联元件
• 理化分析设备

直通结构流量传感器。不会发生异物堵塞和检测不良。最适合点焊机、各种机床、高频淬火装置等。

行业

• 冷却水
• 耐环境
• 冷却液控制

实现了冷却水循环回路的流量传感器、阀一体化的集成单元。在大幅减少水路的繁琐配管设计及配管作业工时的同时，占用空间减少80%，实现了系统的省空间化。

行业

• 理化分析设备

【停产产品】
代替产品：FSM3系列
※分离显示器FSM2-D系列还销售中。

双画面双色显示气体用小型流量传感器。
备有显示一体型、显示分离型2种产品类型。

行业

• 保护气体
• 检查
• 理化分析设备

是压缩空气、氮气用超小型流量传感器。轻量、高速响应，最适合电子部件等的吸附确认。

行业

• 半导体制造工序（后工序）

是卡曼涡街检测方式的水用流量传感器。最适于元件内置的紧凑型简单设计。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）
• 理化分析设备

是显示分离型压缩空气用流量传感器。
最适合大流量测量。

行业

• 传感器
• 半导体制造工序（后工序）