真空压力比例控制系统
在快速发展的半导体行业中，
为制造工艺的精细化提供助力
THEME
努力实现尖端技术产业的进一步发展
在半导体产业中，制造工艺的精细化在逐年进步。与此同时，对制造设备和部件的精度要求也急剧上升。CKD将客户对质量决不妥协的需求视为发展的机遇，为此每天都在反复进行验证和改进，致力于开发精度更高、性能更强的元件产品。
台湾喜开理股份有限公司 Tech Center 張 健禮
MISSION
随着半导体工艺向精细化发展，对性能的要求水平也不断提高
在所有行业中，半导体行业的技术进步最为显著。智能手机等数字设备和采用先进半导体的高速无线通信技术就是最好的例子。现在，所有使用计算机和无线电波的产品都依赖于半导体，这让我们的生活变得非常方便和舒适，是20年前所无法比拟的。随着市场的持续增长，人们对半导体所创造的更繁荣的未来寄予厚望，如自动驾驶、人工智能和元空间等。
在如此重要的半导体制造工艺中，作为主要元件被搭载到成膜工序（在对象物体上形成薄膜）设备上的，就是CKD的真空压力比例控制系统“VEC”。该系统通过精确控制腔体（容纳了由名为圆晶的半导体材料晶体制成的圆形薄片）内的压力，可满足半导体制造的工艺条件并实现更高的生产效率。
与此同时，在不断发展的半导体行业，制造工艺的精细化在逐年发展进步。精细化意味着制造更小的半导体设备。这样就能实现更快的速度、更低的功耗和更少的成本，但随着对精细化的追求，也就需要更精密的设备和部件，对VEC的性能水平要求也大幅提高。例如，在去年之前一直满足要求的性能，可能会因行业的发展而需要尽快予以改进。此外，有时我们还会收到最终用户的半导体厂商直接提出的咨询。为了应对不断变化的客户需求，与设备厂商等的合作也不可或缺。
APPROACH
我们花了一年的时间，满足了自开发时起就急剧上升的精度要求
2017年引进新工艺时所开展的措施，让人至今记忆犹新。自VEC开发以来，精度要求急剧上升，目前的设计必须满足，尽管最初通过全面检查解决了这些要求，但尚未达成根本解决方案。为了克服这一情况，我们与工程师合作，花了一年时间经过反复验证，终于明确了可解决精度要求的因素。在说服各工厂领导批准进行元件改造后，我们成功地解决了问题，并赢得了顾客的信任。
我再次认识到，当出现问题时，正是与客户建立信任关系的机会。对于推动精细化发展的半导体厂商和设备厂商，我们的字典里绝没有妥协二字。为了满足要求，我们需要与CKD的销售、工程师、质量保证部门、维护外包方等公司内部和外界的利益相关者共同思考最佳方案，有时还要与客户进行锲而不舍的讨论。我本人作为台湾喜开理股份有限公司的销售工程师，负责与全球最先进的半导体厂商洽谈业务，在工作中我始终牢记挖掘客户需求，让各相关人员参与其中，大家作为一个整体积极投入解决未知的课题。
产品装配
真空压力比例控制系统“VEC”
幸运的是，现在我们已与客户建立起良好的信任关系，每当客户遇到新问题时都能最先与我们联系。虽然每次处理问题时我都捏了一把汗，但能在第一线为最前沿的半导体行业提供支持，这也是销售工程师这份工作的乐趣所在。
VISION
追求可广泛应用于最先进工艺的维护质量
VEC是将原本单独使用的多个元件整合为一的ALL IN ONE产品，也是ONLY ONE产品。自1996年推出以来，我们一直致力为全球半导体制造提供助力，同时也不断对其进行了改进。
另一方面，虽然经过反复改进，但VEC系统毕竟是由机器组成的，也就不可避免因长时间运转而发生故障。因此，关键是要通过定期维护和尽可能确保长时间地稳定运转来尽量减少因故障导致的生产线停工，考虑到这方面的必要性，CKD在台湾还开展了维护事业。
在2007年启动的维护事业中，我们与当地合作公司建立了伙伴关系，建立和完善了可稳定供应与日本相同质量的设备和作业的体系。从事业启动当初，我们就脚踏实地获得了一个又一个的好评，如今这项事业已经发展成为可应对众多元件维护委托的规模，我们为客户的稳定运行作出了贡献。
当然，我们并不满足于现状，今后我们将继续追求可广泛应用于最先进工艺的维护质量。作为其中的一项措施，2021年我们成立了由VEC专业工程师常驻的台湾喜开理股份有限公司技术中心，旨在迅速解决台湾当地的问题。
今后，客户仍将以精细化为中心继续发展和变化。对技术的追求，永无止境。为了准确地捕捉前沿需求并反馈到产品中，今后我们将继续通过与客户进行密切交流，建立信任关系。
